一种低燃型多晶硅生产用废气净化装置

本发明公开了一种低燃型多晶硅生产用废气净化装置，属于废气处理技术领域，本发明在对废气中硅粉进行过滤操作的过程中，通过出气管不仅对净化后的废气进行导出，同时，承受着废气导出时的气流冲击，实现出气管带动空心滤球进行旋转，一方面，位于定板下侧的空心滤球的下半球面对废气进行净化作用，另一方面，净化后的废气进入空心滤球内部，继而对空心滤球的上半球面进行气流冲击，将空心滤球外表面过滤的硅粉吹起，使其粘附在粘附毛板上，不仅实现了对硅粉的回收过程，同时，通过出气管的旋转带动，实现了空心滤球的同步过滤和脱附过程，使空心滤球表面不易发生硅粉堵塞，实现持续过滤和回收过程。