一种具有辅助散热装置的光刻机

本发明公开了一种具有辅助散热装置的光刻机，包括光刻机和光刻机下方活动连接的散热柜，散热柜前方表面开设有散热窗，散热柜左右两侧开设有活性散热窗，活性散热窗包括有固定杆，固定杆固定连接于散热柜左右两壁内，固定杆内部设置有活动轴，活动轴表面活动连接有窗叶。该具有辅助散热装置的光刻机通过设置散热装置来对内部进行散热，通过内部的固定柱来进行对散热扇的固定，通过设置两个双轴电机为同步运转，来带动固定柱两边的扇轴与转动轴，扇叶的形状呈不规则形状，当转动时所带动的气流随着扇叶的形状吹出来，形成不规则的气流，从而带动光刻机内部的各方向气流，避免散热不完整出现散热死角。